CXF-200/1401磁懸浮分子泵

性能特點(diǎn)/ Features

●高潔凈度、免維護(hù)、低振動(dòng)、任意角度安裝、更高的前級(jí)耐壓、集成控制器

●五軸磁懸浮軸承。轉(zhuǎn)速可調(diào)、轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)監(jiān)控和自動(dòng)平衡、斷電自動(dòng)保護(hù)、溫度管理系統(tǒng)

●防腐、低噪聲、節(jié)能、體積更小重量更輕

應(yīng)用領(lǐng)域/ Application

硅刻蝕，離子注入，玻璃鍍膜，PVD鍍膜，科研應(yīng)用，表面分析，加速器，太陽能，熱處理。