日本sakigakes 粉粒體旋轉(zhuǎn)式臺式真空等離子體裝置

日本sakigakes 粉粒體旋轉(zhuǎn)式臺式真空等離子體裝置

• 高效表面處理：適用于粉末和芯片電容器的理想選擇，能夠高效地進(jìn)行表面修飾、清潔和親水性處理。

• 旋轉(zhuǎn)機(jī)制：旋轉(zhuǎn)室設(shè)計允許前后進(jìn)行大量處理，適合在干燥環(huán)境中對粉末表面進(jìn)行處理。

• 真空環(huán)境：室內(nèi)提供旋轉(zhuǎn)的圓柱電極，高頻應(yīng)用于面向管狀電極以排放電流的中心部分的電極。處理工作在旋轉(zhuǎn)室內(nèi)滾動，可以在正面和背面立即進(jìn)行處理。

• 氣體系統(tǒng)：配備1個氣體系統(tǒng)（2個以上為可選配置），氣體控制采用針閥（質(zhì)量流量控制器為可選配置）。

• 壓力調(diào)節(jié)：真空值可自由設(shè)定，范圍為10-60帕，為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境，保證了實驗效果的準(zhǔn)確性和可靠性。

• 電容式激發(fā)：采用電容式（CCP）激發(fā)，實驗效果穩(wěn)定、均勻可靠，電極板置于樣品倉內(nèi)頂部懸掛。

• 觸摸屏控制：配備觸摸屏和內(nèi)置計算機(jī)顯示控制，支持手動和自動兩種模式任意切換。

• 程序化設(shè)計：可預(yù)先編輯好程序，儀器自動完成實驗。

• 低使用成本：無需任何耗材，使用成本低，無需特殊維護(hù)，日常保持儀器清潔即可。

技術(shù)參數(shù)

• 裝置名稱：回転式卓上真空プラズマ裝置

• 型號：YHS-DφS

• 外形尺寸：820mm(W)×600mm(D)×680mm(H)

• 重量：100kg

• 旋轉(zhuǎn)部尺寸：φ210×200mm(D)

• 電源：100V, 30A (50Hz/60Hz)

應(yīng)用領(lǐng)域

• 粉末表面處理：適用于粉末和小零件的蝕刻、薄膜形成、驅(qū)蟲劑、氧化和還原等處理。

• 清潔與活化：可用于清潔樹脂成型產(chǎn)品、MEMS等，以及在干燥環(huán)境中處理粉末表面。

• 材料科學(xué)：適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

• 表面改性：可用于表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、去除表面有機(jī)物、疏水實驗、沉積實驗、形成新的基團(tuán)、鍍膜前處理等。

該設(shè)備因其高效、穩(wěn)定的性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，成為粉末和小零件表面處理的理想選擇。