這款儀器采用模塊化設(shè)計(jì)，可在一款儀器下實(shí)現(xiàn)納米與微米/大載荷三個(gè)尺度下的壓痕，劃痕與摩擦磨損測(cè)試，進(jìn)而可得到硬度、彈性模量、蠕變信息、彈塑性、斷裂韌度、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、膜基結(jié)合力、劃痕硬度、摩擦系數(shù)、磨損率等微觀力學(xué)數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品特性:

◎可在一臺(tái)儀器上實(shí)現(xiàn)納米尺度、微米尺度及大載荷尺度下的壓痕、劃痕與摩擦測(cè)試

◎壓痕、劃痕與摩擦磨損完全符合ASTM及ISO的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

◎模塊化設(shè)計(jì)：可根據(jù)客戶需求任意選擇納米/微米/大載荷模塊的壓痕/劃痕/磨損功能

◎**的設(shè)計(jì)可保證系統(tǒng)具有高穩(wěn)定性與高的精度

◎可拓展性強(qiáng)：可隨意升級(jí)已有設(shè)備到多種測(cè)試功能

技術(shù)參數(shù)：

◎ 工作臺(tái)自動(dòng)控制范圍：150 mm×150mm

◎ Z方向自動(dòng)移動(dòng)范圍：50mm

◎ 工作臺(tái)定位精度：1μm

◎ 光學(xué)顯微物鏡：5X，10X，20X，50X，100X可選

◎ 總放大倍數(shù)：200X， 400X， 800X，2000X200X， 4000X可選

◎ 納米壓痕儀/納米劃痕儀/納米摩擦磨損儀

◎ 微米壓痕儀/微米劃痕儀/微米摩擦磨損儀

◎ 大載荷壓痕儀/大載荷劃痕儀/大載荷摩擦磨損儀

可選件：

◎ 測(cè)量模塊：客戶需要自己選擇納米模塊、微米模塊與大載荷模塊其中之一

◎ 光學(xué)鏡頭：客戶需要自己選擇光學(xué)鏡頭的個(gè)數(shù)與倍率

◎ 原子力顯微鏡

產(chǎn)品應(yīng)用：

◎薄膜及超薄膜(金屬膜、陶瓷膜、Low k 膜、多層復(fù)合膜等)

◎復(fù)合材料(樹(shù)脂基、陶瓷基、金屬基、纖維增強(qiáng)材料表面及界面等)

◎聚合物 (共混物、共聚物等)

◎生物及仿生材料(細(xì)胞、骨組織、血管、牙齒、支架等)

◎金屬及合金(晶面/晶界/組織相、金屬玻璃、稀土等)

◎MEMS (微懸臂、微鏡、微泵等)

◎陶瓷材料

◎電子及半導(dǎo)體(硅片、藍(lán)寶、硬脆及軟脆材料等)