在搭載有JED能譜儀的日本電子200kV及300kV透射電鏡系統上可配備牛津儀器軟件系統AZtec TEM，使得該類用戶可以使用功能強大的牛津儀器顯微分析軟件進行數據的采集與分析。可實現的功能包括：

• 常規定性定量分析 Analyzer/Point ID；

• 元素線掃描及面掃描 LineScan/Mapping；

• 漂移校正功能(主動及被動) - 在分析納米級和原子級結構時至關重要 Autolock；

• 真實元素分布：實時更正重疊峰和其他假象，然后自動將真實數據可視化      TruMap；

• 元素定量分布：元素含量的二維分布 QuantMap；

實時元素分布：實現元素分布的動態觀察 AZtecLive；