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全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

AFM5500M

直接聯系

蘇州科蒂斯懷特工業設備有限公司

日本

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

日立

型號：

AFM5500M

關注度：

4249

產品介紹

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。

大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是，用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了**研發的水平掃描器，可實現不受圓弧運動影響的準確測試。

高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發生彎曲（crosstalk），可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結構，成分，物理特性等。

AFM5500M 主機
馬達臺	自動精密馬達臺 *觀察范圍：100 mm （4英寸）全域馬達臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 小步距：XY 2 μm、Z 0.04 μm
**樣品尺寸	直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg
掃描范圍	200 μm x 200 μm x 15 μm （XY：閉環控制 / Z：感應器監控）
RMS噪音水平*	0.04 nm 以下（高分辨率模式）
復位精度*	XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
XY直角度	±0.5°
BOW*	2 nm/50 μm 以下
檢測方式	激光檢測（低干涉光學系統）
光學顯微鏡	放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 μm x 650 μm ～ 130 μm x 90 μm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器）
減震臺	臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg
防音罩	750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、約 237 kg
大小?重量	400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg

AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站
OS	Windows7
RealTune?II	自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
操作畫面	操作導航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能
X, Y, Z掃描驅動電壓	0～150 V
時時測試（像素點）	4畫面（2,048 x 2,048） 2畫面（4,096 x 4,096）
長方形掃描	2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件	3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動控制功能	自動更換懸臂、自動激光對中
大小?重量	340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg
電源	AC100 ～ 240 V　±10% 交流
測試模式	標配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM