技術(shù)應(yīng)用

lGASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度以無時(shí)延的探測*微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

l運(yùn)行條件

溫度范圍：0℃…+49℃

濕度：無凝露

壓力范圍：750mbar-1050 mbar

防塵/水等級：IP20 (IEC 529)

l儲存條件

溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃

l樣品氣體條件

溫度范圍：0 ~ +49 °C

濕度：無凝露，溫度達(dá)35°C時(shí)**相對濕度80%，溫度達(dá)49°C時(shí)線性下降至35%

壓力：750 mbar…1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物< 1 μm

測量參數(shù)

l響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約15秒到幾分鐘不等

l監(jiān)測下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb

l動(dòng)態(tài)量程：5個(gè)數(shù)量級（檢測下限的100，000倍)

l重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%

l準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度下好于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度

l溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

l壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

可靠的監(jiān)測

l高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監(jiān)測儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。

優(yōu)勢

l準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

l快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉急速上升的濃度

l獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

l無耗材或者化學(xué)試劑

l短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)**的動(dòng)態(tài)量程

l直接吸收測量，無漂移

l校準(zhǔn)間隔長（可達(dá)數(shù)年）

l高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點(diǎn)

l高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF4

l檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

l響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從10秒到幾分鐘

l動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

l無耗材

l低樣品量（幾ml）

l內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

l重新校準(zhǔn)間隔長（幾個(gè)月）

l直觀的用戶界面

l內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

l可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作