儀器簡介：

技術參數：

1、射頻發生器-標準配置、復合D級標準、穩定性高、濺射束斑極為平坦、等離子體穩定時間極短、表面信息無任何失真。

2、脈沖工作模式既可以分析常規的涂/鍍層和薄膜，也可以很好地分析熱導性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜。

3、Polyscan多道（同時）光譜儀可全譜覆蓋，光譜范圍從110nm~800nm，可測試遠紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有**的光通量，因而擁有**的光效率GD敏度。

5、高動態檢測器（HDD）可快速、高靈敏地檢測ppm-100%含量的元素。動態范圍為5 x 10¹⁰。

6、寬大的樣品室方便各類樣品的加載。

7、功能強大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測報告。

8、HORIBA獨有的單色儀（選配）可極大的提高儀器的靈活性，可實現固定通道外任意一個元素的同步測試，稱為n+1。

9、適用于ISO14707和16962標準。

10、GD-Profiler HR多色儀焦距為1米，光譜分辨率可達14pm，*多可同時分析60種元素。

11、GD-Profiler HR可選配焦距為1米的單色儀，**光譜分辨率達9pm。