儀器簡介：

先鋒公司代理美國SRS公司的RGA100殘余氣體分析儀是一種可用于在線監測的真空設備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度。其殘余氣體分析儀可以達到百萬量級的動態范圍，優于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測極限，帶有分析軟件和RS232接口。優異的性能，超高的性價比，完全滿足您真空方面的科研實驗。

技術參數：

RGA殘余氣體分析儀主要參數如下：

• 100， 200 and 300 amu systems

• Better than 1 amu resolution

• 6 decades of dynamic range

• 5 × 10−14 Torr detection limit

• RGA Windows & LabVIEW software

• Field-replaceable electron multiplier and filament

• RS-232 interface

主要特點：

在真空腔內RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進入四極桿產生的偏轉電場內，由于不同的粒子質量數不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。相當于我們在四極桿上加特定的電場就會有特定質量數的離子打到探測器陽極上，探測器所產生的電流正比于氣體分子的濃度。進一步改變電場，就可以檢測到不同質量數離子的濃度。之后我們再做電場掃描，就可以計算出真空腔中所含氣體的成分。