半導體電子顯微鏡

1997年FEI和飛利浦電子光學宣布合并其全球業務
2008年臺式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom)進入中國市場
2012年飛納(Phenom）臺式掃描電鏡全球銷zui突破2000臺
2013年飛納（Phenom)發布第三代臺式掃描電鏡，放大倍數
10萬倍，分辨率優于17nm

 半導體電子顯微鏡

17世紀荷蘭光學天才:Antoni van

 Leeuwenhoek設計并制造世界

*臺光學顯微鏡

19世紀Anton和Gerard Philips在荷蘭埃因霍溫創建

        了飛利浦公司

1947年LePoole教授為Dorgelo教授展示荷蘭*臺掃描電子顯微鏡

飛納(Phenom)主要特點

一長壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲

一表面細節豐富的高質量圖片

一內置彩色光學顯微鏡

一自動馬達樣品臺

一30秒快速成像，操作簡單

一光學與低倍電子雙重導航

一防震設計，對放置環境無牛條殊要求

一樣品倉低真空技術，直接觀測絕緣體，}c需噴金

一四分割高靈敏度背散射電子探頭，兼得樣品表面

  形貌與成份信息