無錫吉致電子25年研發生產——淺槽隔離拋光液/STI Slurry拋光液/淺溝槽隔離化學機械拋光液/淺溝槽隔離Slurry/淺槽隔離研磨拋光液/STI淺槽隔離平坦化拋光液slurry/淺溝槽隔離拋光液拋光漿料slurry/吉致電子STI拋光液

產品簡介：STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。

具有高的銅去除速率，碟型凹陷可調，低缺陷等特性。可應用于邏輯芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量產使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學物殘留，以防銅表面腐蝕，降低表面缺陷。

可定制化：我們的拋光液可以根據客（177----06-----168------670李）戶需求定制不同的PH、粒徑、濃度、穩定離子等。

包裝方式：25KG/桶(也可依客戶需求)