尺寸重量

1730*660*1130mm；凈重：210kg

電源

電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW

爐管

高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小； 

尺寸：Φ60*1300mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空；

一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷；

可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐；

包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統

加熱元件采用康泰爾發熱絲，表面負荷高、經久耐用；

加熱區長度：300mm

恒溫區長度：150mm； 

工作溫度：≤1150℃； 

**溫度：1200℃；

升溫速率：10℃/min

溫控系統

日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分步、分段

混氣系統

三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制；內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套；每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥；通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~1000sccm（可選）；   流量精度：±1.5%

高真空系統

采用雙級旋片真空泵+分子泵，極限真空可達4.0*10^-4Pa； 復合真空計，配置電阻規+電離規

抽速：110L/S； 冷卻：風冷； 電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源系統

輸出功率:0-300W；功率穩定度：±0.1%；射頻電源頻率:13.56MHz  穩定性±0.005%；**反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF； 冷卻:風冷； 電源:AC187-253V 50/60Hz

可選配件

各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件

保修卡

整機一年保修（相關耗材除外）