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1200低真空CVD系統

YHGS-120612I-3ZD

直接聯系

杭州嘉悅智能設備有限公司

上海

產品規格型號

參考報價：

20-30萬元

品牌：

上海煜志

型號：

YHGS-120612I-3ZD

關注度：

3766

產品介紹

簡介

1200℃低真空CVD系統是由滑動式管式實驗電爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

主要技術參數

爐體結構	整機采用SUS304不銹鋼材質，流線型外觀，斷熱式結構；日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好；爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩；爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻；支撐兩端安裝油壓緩沖器；爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
尺寸重量	12406001340mm；170kg
電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管	高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極??；尺寸：Φ60/80/100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空；一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷；可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐；包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合。
加熱系統	加熱元件采用優質合金絲，表面負荷高、經久耐用；加熱區長度：300mm；恒溫區長度：150mm；工作溫度：≤1150℃； *溫度：1200℃；升溫速率：推薦≤10℃/min，快升溫速度30℃/min
溫控系統	日本富士儀表，64段控溫程序，可分步、分段；測溫元件：N型熱電偶；控溫精度：±1℃
混氣系統	三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系統	采用雙極旋片真空泵，真空度可達10Pa
可選配件	高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件
保修期	整機一年保修（相關耗材除外）

可根據客戶要求定制！

特色與優勢

1.滑動式爐體結構實現快速升降溫；

2.開啟式爐蓋設置，降低沉積溫度、加快沉積速度；

3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質量流量計，數字顯示精確控制氣體流量；

4.雙極旋片真空泵+分子泵，實現對真空度的不同要求，極限真空可達4.0*10^-4Pa。

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