粉體行業在線展覽
單溫區PE-CVD系統
面議
科冪
單溫區PE-CVD系統
1021
高性能射頻電源.等離子體更穩定;
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;
可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。
| 項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| **溫度 | 1150℃(短期) | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區長度 | 220mm | |
| 恒溫區長度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優質國產電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
| 射頻電源 | 射頻功:5-500W; 射頻頻:13.56MHz; 匹配方式:自動匹配 | |
| 真空系統 | 雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等) | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
RLY 系列
HTRH,HTRV
管式爐
馳順TF-1200型旋轉管式爐
RTO蓄熱式焚燒爐
RLY系列燃油熱風爐
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
OTF-1200X-25-60
略
ZHK-B02123K-200
YCVD-1706
TCGKD203-11/TCGKD204-11/TCGKD415-12TCGKD412-12/TCGKD410-12/T