產(chǎn)品性能：

*垂直結(jié)構(gòu)，5～50片/批

*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性，重復(fù)性好

*微環(huán)境低氧控制先進(jìn)技術(shù)

*硅片顆粒度控制穩(wěn)定，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

*多工藝選擇，模塊化，操作便利

*全自動(dòng)流程，盒對(duì)盒，AGV對(duì)接

*高集成度，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

配套工藝：

*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL），氮、氫退火，合金、固化，快速熱退火

*多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2，磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS，LTO，HTO，SIPOS...