日本HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370

GA-370 用于空氣分離和半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)的高純氣體的質(zhì)量管理，為氣體生產(chǎn)設(shè)施的質(zhì)量管理提供連續(xù)的，高靈敏度及高精確度的微量雜質(zhì)（CO，CO2，CH4）監(jiān)測(cè)。

一.高靈敏度的監(jiān)測(cè)

1.采用交替流動(dòng)調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR），零點(diǎn)極其穩(wěn)定，無漂移。

2.*小檢測(cè)限（MDL）為10 ppb，可支持需要高精度測(cè)量的應(yīng)用。

GA-370痕量氣體分析儀內(nèi)置的紅外光源的光束通過氣室到達(dá)檢測(cè)器。在測(cè)量過程中，電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測(cè)量氣室中。

與氣室中充滿參比氣體時(shí)的情況相比，當(dāng)氣室中充滿樣氣的時(shí)候，樣氣中的CO、CO2以及CH4會(huì)引起到達(dá)檢測(cè)器的光強(qiáng)度的不同。檢測(cè)器檢測(cè)到的兩種氣體對(duì)光的吸收差異，使檢測(cè)器薄膜發(fā)生偏轉(zhuǎn)而振動(dòng)。采用這種測(cè)量技術(shù)能省去光學(xué)斬波器和光學(xué)調(diào)整的需要，消除零點(diǎn)漂移，提高了靈敏度。

二．高純氣體中微量雜質(zhì)的監(jiān)測(cè)

可應(yīng)用于典型平衡氣體如：氮?dú)猓鯕猓猓瑲鍤猓瑲錃夂涂諝狻?/span>

如有需要用于測(cè)量其他平衡氣的情況， 我司。

三．操作簡(jiǎn)便，免維護(hù)

1.操作簡(jiǎn)便的屏幕菜單簡(jiǎn)化了分析儀的校準(zhǔn)和測(cè)量等各項(xiàng)操作。

2.無需光學(xué)調(diào)整。

3.觸摸式彩色液晶顯示屏（LCD）能夠以圖表方式顯示歷史數(shù)據(jù)。

四．典型應(yīng)用

一般情況下，工業(yè)氣體如氧氣和氮?dú)猓怯煽諝夥蛛x設(shè)備制造的。將除去水分（H20）和二氧化碳（CO2）的原料空氣通入分離裝置，分離裝置利用氮?dú)猓?/span>N2）、氬氣（Ar）和氧氣（O2）三者沸點(diǎn)不同分離出不同氣體。同樣地，空氣分離設(shè)備也能制造其他稀有或惰性氣體，如氫氣（H2）和氦氣（He）。

HORIBA 的GA-370痕量氣體分析儀能有效測(cè)量分離后氣體中的雜質(zhì)，保證了氣體質(zhì)量。

五．在線分析儀GA-370技術(shù)參數(shù):

型號(hào)： GA-370

測(cè)量組分： CO， CO2 和 CH4

高純氣體種類： N2，O2，He， Ar， H2， Air

測(cè)量組分?jǐn)?shù)： 1-2種（由平衡氣體種類決定）

測(cè)量原理：交替流動(dòng)調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）

量程：0～1/2/5/10 ppm

檢測(cè)下限：10 ppb

零點(diǎn)漂移：≤±0.02 ppm/天， ≤±0.03 ppm/周

量程漂移：≤±2% F.S./天， ≤±3% F.S./周

響應(yīng)時(shí)間：≤180s

外形尺寸和重量：430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分)，約18 kg

電源：100～240 V AC，≤±10% (不超電壓：250 V AC)

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