用于缺陷分析和大型樣品研究的**納米計量工具

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球*精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行業中大受贊揚。

*強大全面的分析功能

Park NX20具備****的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創意的解決方案。****的精密度為您帶來高分辨率數據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和**。。

即便是**次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業界*為便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

樣品側壁三維結構測量

NX20的創新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創新性研究和敏銳洞察力所必備的。

對樣品和基片進行表面光潔度測量

表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一，能夠帶來精確的失效分析和質量保證。

高分辨率電子掃描模式

QuickStep SCM

*快的掃描式電容顯微鏡

PinPoint AFM

無摩擦導電原子力顯微鏡

CrN樣品所做的針尖磨損實驗

**AFM測量

• 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。

• 在大范圍掃描過程中系統Z向噪音小于0.02 nm。

• 沒有前沿或后沿過沖現象

• 終身無需校準，減少設備維護成本

Park NX系列原子力顯微鏡

傳統的原子力顯微鏡

低噪聲XYZ位置傳感器

行業**的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

自動多點掃描

滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置，同時與復位精度為幾微米的電路系統相連接。借助于相關性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。

高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽

只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計，其生產線設備兼容性得到大大提高

高速24位數字控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。 該控制器是個全數字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的**選擇。嵌入式數字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的**選擇。

XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率

• XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm

• Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm

嵌入式數字信號處理功能

• 三通道數碼鎖相放大器

• 彈簧系數校準（熱方法）

• 數據Q控制

集成式信號端口

• 專用可編程信號輸入/輸出端口

• 7個輸入端口和3個輸出端口