美國SCS 旋轉涂覆儀 G3系列：

SCS 公司的 G3 系列高精度旋轉涂敷機是一款用于實驗室、研發的桌面式儀器，應用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷，象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機化合物、攙雜劑、硅質薄膜等。G3 旋轉涂敷機系統在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標準，具有很高的旋轉精度和重復精度， 擁有精度極高的加速/減速控制。

G3 系列共有 G3-8， G3P-8， G3P-12 和 G3P-15 四個型號。

G3-8: G3 系列不可編程旋轉涂敷機，8"旋涂盤，單一涂敷程序。

G3P-8: G3 系列可編程旋轉涂敷機，8"旋涂盤，可儲存 30 個涂敷程序，每個程序可以有 20 步。G3P-12: G3 系列可編程旋轉涂敷機，12"旋涂盤，可儲存 30 個涂敷程序，每個程序可以有 20 步。G3P-15: G3 系列可編程旋轉涂敷機，15"旋涂盤，可儲存 30 個涂敷程序，每個程序可以有 20 步。

功能及技術規格：

。 基于微處理器控制，利用前面板 LCD 顯示屏及鍵盤可快速，簡單的編程。

。 閉環伺服電機控制提保證精確的速度調節。

。 使用可選的PC界面軟件通過通訊端口實現外部控制，包括編程、曲線儲存、PID、診斷、真空開/關、慢速中心定位及可編程初始位置。

。 可儲存 30 個曲線，每個曲線可設定 20 步（如果使用外部計算機控制，則程序存儲數量不限）。

。 程序可調整的旋轉增量為 1.0 轉/分，定時增量為 0.1 秒的，停留時間的增量為 1.0 秒，在每次循環中可以實現極高的重復精度。

。 對于可編程的機器，編碼器允許真空吸盤（卡盤）停止在初始位置。

。 在可編程的機器系統中包括耐化學腐蝕的特氟綸涂層的底碗和完整的排泄系統。

。 客戶評估的厚度均勻度范圍在±3%內。

。 可編程的機器均標準配備聯鎖鉸鏈蓋子和安全玻璃觀察窗。

。 緊湊的結構使其在生意通風櫥時非常方便

。 吸盤（卡盤）旋轉速度：0-9，999 轉/分鐘

。 加速度/減速度：0.1 – 25.5 秒，0.1 秒為增量

。駐留時間：0-999 秒，0.1 秒為增量

。 點膠時間：1-10 秒，0.1 秒為增量

。 系統尺寸：11.9” H x 12” W x 16.5” D（英寸）

。 系統電源：115/230 VAC， 50/60 Hz， 1?

真空卡盤：

SCS 涂敷系統的附件夾盤可以有多種材料供客戶選擇， 包括不銹鋼（標準）、硬質陽極氧化鋁、聚甲醛樹酯和特氟綸。吸盤尺寸由客戶制定以適應基片尺寸。吸盤的零配件按嚴格

公差制造，從而提供異常平整、剛性的平面。交叉渦道形吸盤可以使真空壓分布在整個表面。SCS 推薦吸盤的直徑比基片直徑小 1/4 到 1 英寸。當使用脆性基片時，吸盤應支撐整個基片。