“狹縫涂布精密成膜裝備系統”是一個高端先進制造業項目，其成膜技術可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜，在許多光電領域，如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽能電池、半導體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等，有著非常廣泛的應用。

從研發用150mm平臺到6代線，為用戶提供靈活多變的配置方案。不僅用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等，還可以用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等成卷基材的涂布，也應用于非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布。

狹縫涂布技術適用于各種涂布液，可廣泛應用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片涂布模具相對于基片精確地運動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。

優勢

可涂布不同粘度的各種材料

涂布厚度范圍廣泛:從20nm到150μm以上

很好的涂布一致性:通常優于±3%

效率高/材料利用率高:材料利用率可達95%

能夠滿足不同需求：從研發到小批量試制、大量生產

工藝具有高的可靠性和魯棒性:良率可達到95%

適用于S2S和R2R加工模式

在一個工藝周期內可實現矩形陣列的涂布加工

過程參數

涂布間隙控制：動態控制涂布頭高度 (z軸)

模具運動控制: 在涂布方向上(x軸)精確控制模具的運動軌跡(包括加速和減速參數)

模具設計: 針對高一致性、化學兼容性、低充填容量和條狀涂布進行模具設計制造

涂布控制: 涂布速率(穩態涂布) 和涂布輪廓 (前后邊緣)的高精度數字化控制

控制軟件: 所有配方參數，數據監控和反饋控制，數據采集分析。

應用領域

平板顯示

LCD， OLED， Flexible， Touch Screen

LCD， OLED， 柔性顯示， 觸摸屏

太陽能光伏

PV including CIGS， CdTe， OPV and C-Si

固態照明

OLED lighting

高附加值玻璃

可調光智能玻璃， 博物館用玻璃

半導體， 微機電系統， 無線射頻識別， 聚合物電池， 和各種有機及打印電子器件