·PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W，反應(yīng)腔 Φ215×305mm

低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途

·去除光刻膠

·部品清洗

·界面活性處理

·微研磨

·硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)

特征

·大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔

·小型一體化設(shè)計

·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

規(guī)格