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108auto全自動鍍金鍍碳聯用儀

直接聯系

廣州科適特科學儀器有限公司

美國

產品規格型號

參考報價：

面議

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1037

產品介紹

貨號：	108auto
供應商：	廣州科適特科學儀器有限公司
現貨狀態：	1個月
保修期：	1年
數量：	不限

特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜，同時又用于掃描電鏡能譜分析。

主要特性

l 通過1個真空泵相連，在既可以保證良好鍍金鍍碳效果的同時，又不會產生碳和金屬的任何交叉污染。

l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

可使用多種金屬靶材：Pt， Au/Pd，Au，Pt/Pd（Pt靶為標配），靶材更換快速方便。

l 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

l 獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。

l 使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。

l 使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

l 自動模式下，蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下，獨特的設計允許以脈沖或連續的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。

技術參數

鍍金系統
樣品室大小	直徑120mm x 120mm 高
靶材	Au靶為標配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為60mm 可選配旋轉傾斜樣品臺，旋轉速度：0~120rpm可調，傾斜角度：0~90°可調。旋轉樣品臺具有單獨腔體保護，可防污染。
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖，可調，**電流40mA，程序化數字控制
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩
模擬計量	真空： Atm - 0.001mbar 電流：0—50mA
厚度監控 (選件)	使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法	自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器（0－300s），自動放氣
桌上系統	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統
鍍碳系統
樣品室大小		直徑120 x 120mm 高
蒸發源		Bradley型 (6.15mm rods， [1/4"])高強度不銹鋼結構
蒸發控制		基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于真空水平變量的安全互鎖功能，**電流180A，提供過流保護
樣品臺		可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內可調
模擬計量		真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A
控制方法		自動蒸發控制，使用程序設定的電壓和時間以脈沖或連續方式進行完全手動控制數字定時器（0－9.9s）數字電壓設置（0.1 to 6.0V）
真空系統
真空泵		2級直連式高速真空泵
抽氣速率		100L/MIN
噪音		50dB
極限真空		≤1 x 10^-3Torr

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