產品型號

CIF-TEM

真空泵

Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵

入口壓力1.0個大氣壓（0psig），出口壓力1.4個大氣壓（6.5psig）

抽速60L/min，極限真空3.3 x 10^-1 mbar

KF16入口接口

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調

兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源，自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸(長X寬X高)150X150X150mm

清洗數量

可同時清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL

氣體控制

標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源

220V，50/60Hz，300W

質量保證

二年質保，終身維護