主要技術參數： . 雙工位，可同時拋光兩個8英寸晶圓，定制不同的拋 光頭，可兼容6寸、4寸、2寸或更小尺寸晶圓的拋光； .具有定時功能，設定拋光工作時間，到點自動停機； .盤速5-200rpm,緩啟緩停，通過觸控顯示界面設定參數 控制轉速，拋光盤具有水冷功能，能精確控制盤溫； .配置兩個蠕動泵，可精確控制送料均勻度； .拋光頭轉速0-200rpm可調；擺動幅度±20mm可調，拋 光頭通過壓縮空氣加壓,0-5bar可調，根據需要可定制2 區或3區、4區拋光頭，不同區位可調節不同壓力; .拋光工藝可以儲存，工藝可保持一致性和重復性