X射線發生系統為X射線聚焦光學系統（聚焦導管）與X射線源相結合，并且可以照射出實際照射直徑為0.1mmφ以下高強度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強度不足而無法得到理想精度的導線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進行測量。同時搭載高計數率、高分辨率的半導體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中國版RoHS等法規所管制的有害物質進行分析測量。

1. X射線發生系統采用了聚光導管 由于采用了X射線聚光導管方式，可得到以往十倍以上的X射線強度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質測量的精度。

2. 無需液氮的半導體檢測器 在進行薄膜測量與有害物質的濃度測量時，高分辨率的檢測器是必不可少的。SFT9500的檢測器不但可以達到高分辨率，而且可以實現高計數率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。

3. 能譜匹配軟件（選配件） 可瞬間識別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫中哪一個樣品較為接近的軟件。對識別材料十分有效。

4. 塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件） 可簡單地測量出電鍍液中主要金屬的濃度。

5.繪圖軟件（選配件） 將元素面分析的結果進行等高線和色彩使用等視覺處理的軟件。

6. 電鍍液容器（選配件）

7. 各種標準物質（選配件）