Q150T PLUS系列全自動高真空鍍膜儀

英國QUORUM出品的Q150T Plus是一款優化設計的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜設備，真空度可達5x10-5mbar。可以濺射具有超細成膜顆粒的易氧化金屬，適用于高分辨率成像。同樣地，低散射可得到均勻而致密的無定形碳膜。

Q150T E和ES PLUS使用碳棒頭作為標準配置；Q150T S和ES PLUS濺射貴金屬和易氧化金屬。

推薦放大倍數：

? Au、Au/Pd可達5萬倍

? Pt可達10萬倍

? Cr、Ir可達10萬倍以上

非常適合薄膜應用，例如鍍ITO、W、Al、Zn等。

推薦應用：

? 掃描電鏡高分辨率放大應用

? FIB中鍍保護性鉑層

? 腐蝕、摩擦和磨損保護層的研發

? 醫療設備上的保護層

? BSE成像

? EDX， WDS， EBSD分析

? 蒸鍍碳覆型膜

Q150T Plus 功能特點：

1）全新升級的用戶界面：

? 電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用

? 用戶界面軟件全面更新，使用現代智能技術界面

? 全面的文字幫助頁面

? USB接口可輕松進行軟件更新和數據備份

? log文件格式為.csv，內含日期、時間和工作參數，導出后可在Excel或類似軟件中分析

? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜方案

? 雙核ARM處理器，可實現快速響應的顯示

2）允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案，并根據*近的使用來排列每個用戶的方案。

3）智能邏輯系統自動識別插入頭，并顯示相應的操作設置和控制。

4）系統提示用戶確認靶材，然后自動為該材料選擇合適參數。

5）直觀方便的軟件，即使新手也能快速輸入和存儲其處理參數，創建自己的鍍膜程序，且系統已存儲典型的濺射和鍍碳程序可供直接調用。

6）如果軟件檢測到在一段時間內無法達到設定真空度，系統會終止程序，以防真空泵過熱。

7）可互換的插入頭：允許用戶將系統配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統 - 所有這些系統都可集成在一個設備中，節省空間。可選碳繩蒸發。可自動檢測識別插入頭類型。

8）可拆卸腔室，設有防爆罩：可拆卸玻璃腔室，易清潔底座和頂板。如需要，用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發，避免樣品過熱；提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。

9）多種樣品臺可選：Q150T Plus具有可滿足大多數要求的樣品臺。所有樣品臺都是插入式（無螺絲），易于更換。

10）獨特的“可控斜坡碳棒蒸發”、“磁控冷濺射”和“脈沖清潔用于濺射Al”等先進技術。

11）安全性符合行業CE標準。

Q150T Plus具有三種型號：

1）Q150T S Plus全自動濺射鍍膜儀，可濺射易氧化金屬及貴金屬。可濺射的靶材包括鉻、銥、鎢、ITO、鋁和其它靶材。

2）Q150T E Plus全自動蒸發鍍碳儀（碳棒/碳繩），適合SEM領域的EDS和WDS應用。可選金屬蒸發/光闌清潔頭。

3）Q150T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種方式的一體化高真空鍍膜系統。鍍膜頭可在數秒內更換，可選金屬蒸發/光闌清潔頭。

Q150T Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分，全球數千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。

主要操作：

1）離子濺射：濺射電流可設范圍寬，至預設厚度（需選用FTM）終止或定時終止。可設濺射時間寬，無需破真空，自動內置冷卻占空比。

2）蒸鍍：可用碳棒（可選碳繩）蒸鍍碳膜；選用鎢籃或鉬舟進行金屬熱蒸發；選用標準鉬舟清潔TEM光闌

3）可視化狀態指示

大而多色的LED指示燈，使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態。指示燈可顯示以下狀態：

◆ 初始化中 ◆ 程序運行

◆ 空閑狀態 ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態

程序完成后音頻聲音提示。

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