柔性電路板在線式等離子表面處理機：誠峰智造

真空式等離子處理系統CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統

型號（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產品概述

設備參數

產品特點

超大處理空間，提升處理產能，采用PLC+觸摸屏控制系統，精準的控制設備運行；

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數，滿足客戶的需求；保養維修成本低，便于客戶成本控制；

高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。

應用范圍

真空等離子清洗機適用于印制線路板行業，半導體IC領域、硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業,航空工業等。印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

電漿是物質的第四態，是一種獨特的處理介質，用于處理和粗化表面。電漿表面處理設備具有獨特的優勢，它與表面相互作用的特點和適用范圍如下。

電漿表面處理設備具有表面處理的優點，工藝的靈活性和一致性，低成本，使用方便，用戶和環境安全。根據所用的加工氣體和材料類型，電漿表面會發生不同的相互作用。

各種等離子體處理氣體可用于化學和機械污染物的去除，氧化，激活，交聯和沉積。

電漿表面處理設備性能：

什么是電漿，它是如何產生和維持的，以及它是如何與物質表面相互作用的。電漿中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性顆粒作用于固體樣品表面，不僅能去除表面原有的污染物和雜質，還能起到腐蝕作用，使樣品表面變粗糙，形成許多細小凹陷，使樣品的比表面積增大。改善固體表面的潤濕性。

電漿成形利用電容板或磁感應在氣體區域產生RF振蕩電場。

電子的電場加速以及在足夠低的壓力下對中性原子或場線的彈性散射的聯合作用，使電子受熱。中性氣體中的電子獲得超過電離閾的動能時，電子的中性碰撞導致進一步電離，從而產生額外的自由電子，這些電子被依次加熱。

電漿表面的相互作用：

電漿表面處理設備工藝中的電子和離子的能量足以電離中性原子，使分子分離，形成反應性自由基，使原子或分子產生激發態，并對表面進行局部加熱。

取決于工藝氣體和工藝參數，等離子體可通過機械作用、電子和離子動態遷移與表面的腐蝕效應，以及化學反應功，使自由基與表面發生反應。

一般而言，等離子體可以通過幾種機制作用并清洗表面：蝕刻、活化、沉積、交聯和接枝等離子體表面。

電漿表面處理設備優勢：

作用于材料表面作用：電漿等離子體處理只影響材料的近表面，對材料的塊狀性質沒有影響。與許多濕洗工藝不同的是，電漿等離子清洗不會留下有機殘留物；在適當的條件下，等離子清洗可完全除去污染物，從而產生“原子潔凈”的表面。不像水洗溶液，等離子體不受表面張力的限制，能清潔粗糙、多孔或不平整的表面。在近環境溫度下進行等離子體處理，可減少對熱敏材料的破壞。

電漿表面處理設備工藝具有一定的靈活性和一致性，根據工藝氣體和使用情況，等離子處理可用于表面特性的清潔，激活，清洗和改性變化。等離子體會與多種材料發生反應，因此，等離子體還能處理由不同材料制成的元件。

1、價格低廉/容易使用

2、電漿處理效率高，處理時間短，無干燥階段，能耗低。

3、等離子體處理可以幫助避免熱損失和溶劑損壞造成的過程損失。

4、等離子體處理比化學或機械加工更容易使用和維護，而且無需復雜的化學分析或維護。

5、電漿處理通常不需要溶劑，也不需要不斷購買和加工溶劑。

6、采用電漿等離子工藝，提高了使用者和環境的安全性。

7、等離子技術可消除工人與危險化學品接觸的安全風險。

8、電漿等離子體處理在接近環境溫度條件下進行，不會產生安全問題。

9、可以處理復雜幾何形狀的三維零件。