1、不銹鋼防爆設計和水冷保護 

局部水冷層與加厚保溫層結合，防爆且能耗低，同時 設備安裝有易燃易爆氣體探測器

2、多級霧化超聲進料設計 

進料均勻一致，有效控制定向生長，提高批次一致性

3、配備真空系統接口 

可快速置換爐內氛圍，所用氣體通常為氬氣（載氣） 氫氣（還原氣體）及甲烷（碳源氣體，依工藝要求選用）

 4、進氣配置預熱系統 

使氣體進入反應爐前達合適溫度，確保反應條件一致 

5、大口徑爐管與轉軸收料機構 

保障產能且可不停機連續收料