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      碳化硅晶圓改質切割設備

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      廣東大族半導體裝備科技有限公司

      廣東

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      大族半導體

      型號:

      碳化硅晶圓改質切割設備

      關注度:

      1089

      產品介紹

      主要特點:

      設備特點:

      1、特制激光系統 

      2、優異的切割效果

      3、全自動生產

      4、高精度視覺系統;自動對位,自動尋焦

      5、高精密運動平臺

      6、兼容4/6inch生產

      7、SECS GEM標準接口

      主要參數:

      主要參數加工尺寸4inch、6inch晶圓
      加工速度400-1000mm/s
      加工精度±1μm
      平臺參數行程300mm×300mm

      重復定位精度±0.001mm
      θ軸重復定位精度±2arcsec

      激光器參數紅外
      稼動率98%以上
      重大故障間隙時間>1000H
      良率≥99.5%

      加工效果:

         


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