也稱(chēng)為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽(yáng)極/陰極陣列來(lái)電離氣體的捕集泵。離子濺射反應(yīng)性陰極材料，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，將電離氣體轉(zhuǎn)化為固體化合物。這些化合物不再對(duì)真空系統(tǒng)的壓力產(chǎn)生影響，并被**地封存在離子泵內(nèi)。離子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范圍內(nèi)運(yùn)行，氮?dú)獬槿∷俣确秶鸀?0.2 至 1200 l/s。