羅茨真空泵是一種無內壓縮的真空泵，靠泵腔內一對漸開線轉子同步反向旋轉的推壓作用來移動氣體而實現抽氣的真空泵。通常抽氣速率較大，配置電機較小，故需要前級泵預抽，到前級泵抽到規定真空度后，啟動羅茨真空泵，來提高抽速和真空度。它的結構和工作原理如圖所示。

1、泵內運轉件無摩擦、無潤滑、無油可獲得清潔真空。

2、轉子漸開線擺線型線、加工精度高、動平衡確。

3、泵腔內氣體垂直流動，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除。

4、專業制造的高精度齒輪、進口軸承，確保運轉平穩可靠。

5、采用油箱、中壁水冷夾套設計，對泵油、軸承、齒輪、密封組件進行全 方位冷卻，大大提高使用壽命。

6、可與液環真空泵、往復真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等組成羅茨真空機組。

7、過流部件可全不銹鋼、鍍鎳磷合金、碳化鎢，哈氏合金、襯四氟，根據真空強腐蝕性環境而選擇防腐方案。

技術規格表