羅茨真空泵又稱機械增壓泵，是一種容積式干式真空泵，是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似，是利用兩個8字形轉(zhuǎn)子在兩個半圓形的泵腔內(nèi)作同步反向轉(zhuǎn)動，從而完成吸氣和排氣的過程。該泵不能單獨使用，必須與前級泵(如螺桿泵、水環(huán)泵等)串聯(lián)使用。羅茨泵的極限壓力由前級泵決定，表中數(shù)據(jù)是以螺桿真空泵為前級泵時的*低極限壓力。

羅茨泵特點:

1、高壓縮比：轉(zhuǎn)子采用寬頭部**型線，密封帶寬，獲得高壓縮比。能在很寬的壓強范圍內(nèi)(1~1x10^Pa)有較大的抽速。

2、清潔環(huán)保：泵腔無油，側(cè)蓋采用**密封，避免了油蒸汽污染真空系統(tǒng)。

3、運行高可靠性：**軸封，避免被抽介質(zhì)進(jìn)入軸承腔，造成潤滑油乳化失效。

4、低振動:轉(zhuǎn)子作G1級動平衡，振動小，噪聲小。

5、整體無定位銷組合，O形密封圈密封，易于維護(hù)和維修，費用低，壽命高。

6、高標(biāo)準(zhǔn)配置：進(jìn)口軸承、5級齒輪、德標(biāo)聯(lián)軸器，可抽除可凝性氣體。

7、不可單獨使用，必須配置前級泵。

建議:羅茨真空泵長期工作時，視規(guī)格大小，**進(jìn)出口壓差控制在15~20Torr之間。

ZJ、ZJP型泵性能基本參數(shù)表