羅茨螺桿機組是由羅茨真空泵作為主抽泵，螺桿真空泵作為前級泵組成的羅茨螺桿真空機組，該機組比單臺的螺桿真空泵更適合于在低壓下工作。

該機組的設計因為不再使用密封液或大量的真空油，從而減輕環境污染；干式螺桿泵工作時，相互之間無摩擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸氣及少量粉塵的氣體場合。由于螺桿制成變螺距結構，被抽氣體再工作腔內有壓縮，與等螺距結構相比，極限真空度更高，而消耗功率更低，具有節能、免維修等優點，也是油式真空泵的更新換代產品。