設(shè)備特點(diǎn)與技術(shù)指標(biāo)

　　真空獲得為復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動到400HZ后優(yōu)于3*10-3pa;30分鐘

　　以內(nèi)優(yōu)于5*10-4pa;極限真空3*10-5pa。

　　機(jī)組為可移位臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣的需要。

　　機(jī)組配備預(yù)抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)換工件、預(yù)抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了        排氣時(shí)間，有效提高了工作效率。

 機(jī)組配置：

　　600升(300升)水冷(風(fēng)冷)復(fù)合分子泵1臺。

　　北儀優(yōu)成TRP-12機(jī)械泵1臺。

　　40角閥一套。

　　高真空復(fù)合真空計(jì)1套。(包括CF35電離規(guī)、KF16熱偶規(guī))

　　直徑150mm*高200mm真空室1套。

　　帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套。