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      產(chǎn)品

      產(chǎn)品>

      納米材料>

      石墨烯

      >卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

      卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

      RTR-III-80

      直接聯(lián)系

      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

      安徽合肥

      產(chǎn)品規(guī)格型號
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      型號:

      RTR-III-80

      關(guān)注度:

      10107

      產(chǎn)品介紹

      一、設(shè)備簡介:

      該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備,此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔或纖維絲的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點(diǎn),可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)模化生長或者線性材料的連續(xù)生長。(纖維生長工藝,配有纖維張力計(jì),可以通過調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,以便達(dá)到纖維連續(xù)進(jìn)出且受力均勻)


      二、技術(shù)參數(shù)

      1.加熱系統(tǒng)

      zui高溫度

      1200

      使用溫度

      ≤1100

      爐膛有效尺寸

      Φ80mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

      爐膛材料

      氧化鋁、高溫纖維制品

      熱電偶類型

      K型熱電偶

      控溫精度

      ±1

      控溫方式

      30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

      加熱長度

      200+200+200mm

      加熱原件

      電阻絲

      供電電源

      單相,220V50Hz

       

      2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

      連接頭類型

      雙卡套不銹鋼接頭

      標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

      200sccm500sccm1000sccm

      (可根據(jù)用戶要求定制)

      準(zhǔn)確度

      ±1.5%F.S

      線性

      ±1%F.S

      重復(fù)精度

      ±0.2%F.S

      響應(yīng)時(shí)間

      氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

      工作壓差范圍

      0.10.5 MPa

      zui大壓力

      3MPa

      接口

      Φ6,1/4''

      顯示

      4位數(shù)字顯示

      工作環(huán)境溫度

      5~45高純氣體

      壓力真空表

      0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

      截止閥

      Φ6

      內(nèi)外雙拋不銹鋼管

      Φ6

       

      3、低真空機(jī)組

      空氣相對濕度

      ≤85%

      工作環(huán)境

      5℃40℃

      工作電電壓

      220V±10%  50~60HZ

      功率

      1KW

      抽氣速率

      10m3/h

      極限真空

      5X10-1Pa

      工作壓力范圍

      1.01325X1051.33X10-2Pa

      耐壓值

      0.03MPa

      容油量

      1.1L

      進(jìn)氣口口徑

      KF25

      排氣口口徑

      KF25

      噪音

      50dB

      連接方式

      采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連


      產(chǎn)品咨詢

      卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

      RTR-III-80

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      卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80 - 10107
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