AccuSizerRMini在線顆粒監測儀采用模塊化設計，可根據客戶特定需求匹配各類功能模塊，進行在線顆粒監測，其中LE40O、FX和FXNano的傳感器選項提供了更大的檢測范圍和濃度限制。根據不同類型的樣品采用不同傳感器與進樣模塊配對，可自由切換不稀釋、一步稀釋或二步稀釋模式。這種設計可允許我們在應用實驗室中檢測多種類型樣品，并可在生產過程實時監測出真實的結果。

除了模塊化設計，AccuSizerR Mini的樣品混合倉和傳感器清洗均為自動化，確保數據的準確性和持續一致性。AccuSizerRMini采用集成電腦觸屏顯示器的設計，可減少回到實驗室里監控數據的頻率，并且還可以在工藝生產線中實時監測以及進行連續的數據采集。與市場上的任何其他儀器不同，AccuSizer° Mini可在幾分鐘內真實統計到數十萬個粒子，而一般設備可能需要花費數小時。

奧法美嘉公司為半導體芯片制造商提供了集成的多點過程控制系統，用以監控其研磨液分配。通過實時監測趨勢變化，可在出現重大問題前停止生產或用于預防下道工序缺陷的產生。AccuSizerR Mini是為工藝生產線的特殊要求而計。完全嵌入式的PLC設備可以通過企業自身的LIMS系統進行控制和監控，從而使系統更加效率并且易于使用。通過單顆粒光學傳感技術而實現高精度檢測,AccuSizerRMini可以看到遠離主峰幾個ppb水平標準差的LPC分布。可以快速統計到幾十萬個粒子。

AccuSizer A2000采用單顆粒光學傳感技術，單個粒子迪過狄窄的尤惡區的陽掃』一D刀八九r\P的了吉似R的入射光強度瞬間降低，強度信號的衰減幅度理論上與杠于懼截且(N僅供國P十曬約通過當咸區產牛的信號，的平方成比例。用標準粒子建立粒徑與強度信號大小的校正曲線。儀器測得樣品中顆粒通過光感區產生的信號，根據校正曲線計算出顆粒粒徑。傳統光阻法的范圍下限一般到1.5um。AccuSizer通過光散射增加對小粒子的靈敏度，將單顆粒傳感器的計數下限拓展至0.5um。