儀器簡介：

二次質譜儀（SIMS）是*前沿的表面分析技術。確立于40多年前，它揭示了極表面

和近表面的原子層的化學組成。這種信息遠遠超過了為鑒定有機組成部分的分子結

構所需的簡單元素分析。

應用：

單分子層水平表面信息　　薄膜縱剖面分析

所有元素檢測　　　　　　有機物質鑒定

表面污染鑒定 高靈敏度分析　　　　　　

快速化學組分成像等表面分析領域

技術參數：

■ There are three modes of detection：

Static SIMS (surface analysis)

High energy primary ions are used to dislodge secondary ions from the surface molecular layers. These ions are analysed by mass spectrometry， producing a spectrum to identify both organic and inorganic species.

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Imaging SIMS (spatial analysis)

Scanning the focused primary ion beam over the sample surface builds up an image showing the distribution of any species.This is ideal for analysing the uniformity of coatings or the composition of small features.

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Dynamic SIMS (depth analysis)

By concentrating the primary beam into a small area， the surface layers are progressively etched away. This produces an analysis of the subsurface region， monitoring the thickness and composition of thin films.

主要特點：

SIMS一個主要的特征是對表面（固定SIMS）的固定區域的原位分析。掃描聚焦探測

光束（影像SIMS）生成一個表面成分圖僅需幾秒鐘（而不是幾分鐘）。延展的分析

通過深度刻蝕表面而顯示表層下面變化的組成（動態SIMS）。所有這些能在只需少

量而不需任何樣品準備的情形下操作成功，并且具有高靈敏度，同時可使分析時間

降至*短。

Millbrook MiniSIMS是在一個緊湊的半開式可移動儀器中開發的SIMS功能技術。

僅需一個標準的主電源以供操作，放置極為方便。完全的計算機控制使得操作簡

便，并且自動獲得數據。通過英特網的遠距離控制使您使用SIMS更為方便。

MiniSIMS使得室內表面分析儀器，在很大范圍的情形下成為一種操作簡便經濟實

用的方式，低成本的資金和維護費用以及高的樣品產出，意味著每個樣品的總費用

要比使用傳統的SIMS儀器減少90%