SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子層沉積系統(tǒng)，具有良好的均勻性及優(yōu)越的階梯覆蓋性能，使用戶能夠精確控制每個(gè)原子層的沉積。通過(guò)手套箱，可在惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行操作，并且可以防止吸入納米級(jí)顆粒。該設(shè)備是小型且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的型號(hào)，與主機(jī)和控制電源相結(jié)合，追求僅在桌面上更容易操作。 它能夠處理多達(dá)4“晶圓的沉積，并對(duì)每個(gè)部件采取安全措施。

AGUS提供沉積測(cè)試服務(wù)作為我們支持的一部分，以提高實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)確性。請(qǐng)隨時(shí)與凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司聯(lián)系。

- 多樣性 -

· 真空可移動(dòng)的手套箱可以處理易氧化的樣品。

· 前驅(qū)體標(biāo)配兩組閥門和氣瓶。

· 可選擇將前驅(qū)體加熱至200攝氏度。

· 可選擇基片自動(dòng)旋轉(zhuǎn)支架。

· 可選擇粉體沉積配件。

· 可選擇經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的廢氣處理設(shè)備。

- 表現(xiàn) -

· 保證基片表面上的每個(gè)均勻原子層針孔自由層沉積。

· 通過(guò)階梯覆蓋沉積在不均勻或3D形狀的表面。

· 與CVD和PVD相比，可以獲得更好的沉積，特別是對(duì)于具有更高縱橫比和多孔沉積材料。

- 操作界面友好 -

· 觸摸屏使用戶可以輕松設(shè)置配方或沉積過(guò)程，并檢查每個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)。

· 可進(jìn)行自動(dòng)沉積，并在沉積完成后自動(dòng)完成N₂排放。

· 手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動(dòng)完成。

- 安全性 -

· 這是具有各種互鎖功能的高級(jí)設(shè)備。

 - 具有輕柔關(guān)閉功能的頂部艙口使用戶可以輕松地裝載和卸載基片。