進行NSOM實驗，必須將點光源靠到樣品表面納米距離，然后點光源掃描樣品表面，再收集探測經過樣品表面的光學信號。我們使用經金屬涂層處理的帶孔洞椎形光纖作為NSOM探針。光經耦合進入探針，從亞光波長孔徑的探針尖端發出，NSOM的分辨率就是由孔徑的大小決定(**可以達到50納米)。點光源和樣品表面的距離通常通過正常的力反饋機制(與AFM相同)控制，因此可以進行接觸、敲擊和非接觸模式的NSOM實驗。針對不同的材料和實驗，通常有四種NSOM操作模式： 

* 透射模式成像——樣品經過探針照明，光通過樣品并與樣品相互作用后被收集探測；
* 反射模式成像——樣品經過探針照明，光從樣品表面反射并被收集探測；
* 收集模式成像——樣品經遠場光源照明(從上或下面均可)，探針將光信號從樣品表面收集；
* 照明收集模式成像——用同一根探針同時進行照明和收集探測反射光； 

在近場光學領域，部分掃描模式只有通過Nanonics提供的獨特玻璃光纖探針才能完成，因為我們獨特的光纖探針具有很好的波導性能。

      收集的光可通過多種探測器探測，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探測器、CCD或通過光譜儀探測，通過探測器得到的信號經過數據處理得到樣品材料的NSOM圖像。

技術參數：

原子力掃描表征
-接觸模式（可選）
-探針或者樣品掃描都具有所有原子力顯微鏡的操作模式。
近場光學成像和激發表征 
-透射，反射，收集，激發模式
界面差別對比表征 
-反射和透射模式
折射系數分析表征 
-反射和透射模式
熱導和阻值擴散分析表征
-接觸AC模式
-無反饋激光通過外部媒介導入半導體，使用音叉反饋
在線遠場共聚焦拉曼和熒光光譜成像
-反射和透射模式
-針尖增強拉曼散射和在超薄層面上做選擇性拉曼散射，例如應變硅
納米刻蝕
-納米“筆”探針輸送多種化學物質和氣體
-近場光學刻蝕和常規方式的納米刻蝕技術比如電子氧化等，并且可-以同時使用另外一根探針做在線同步分析
納米壓痕
-使用兆級帕斯卡壓強，通過另外一個附加探針的在線同步分析將力學探針精確定位和控制。

++++++SPM 掃描頭參數

樣品掃描器
-壓電掃描平臺 （3D 掃描臺?）
-高度7毫米
探針掃描器
-四個獨立控制的壓電掃描平臺（3D 掃描臺?）模塊
-高度7毫米
掃描范圍 
-每根單探針掃描范圍30 微米 (XYZ方向)
-僅樣品掃描器掃描范圍100微米(XYZ方向)
-樣品掃描器和單探針掃描器掃描范圍130微米 (XYZ方向)
-樣品掃描器和雙探針掃描器掃描范圍160微米(XY方向)
掃描分辨率
- < 0.05 納米 (Z方向)
-< 0.15納米(XY方向)
-< 0.02納米(XY方向) 低電壓模式
粗定位
-樣品粗調定位： XY 馬達驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-針尖粗調定位：
-XY方向馬達驅動-驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-Z方向馬達驅動-驅動范圍10mm-分辨率0.065微米
反饋機制
-音叉反饋（標準）
-激光反射反饋（可選）
常規樣品尺寸
-標準尺寸可達到16毫米
-使用上置光學顯微鏡操可達到34毫米
-不使用樣品掃描方式可以達到55毫米
-有些客戶樣品尺寸達到200mm也能掃描
-非常規尺寸樣品：例如橫截面高低起伏較大的樣品等一些特殊形狀樣品
探針
-獨特的玻璃探針，針尖可以提供不同的形貌和參雜金屬顆粒或者涂層
各種形式的常規硅懸臂探針也可以使用 

++++++成像分辨率

遠場成像分辨率 
-到達衍射限制
光學成像分辨率 
-非共聚焦下光學分辨率500納米左右
共聚焦成像分辨率
-200納米
近場光學成像分辨率
-安裝時保證100納米分辨率；50納米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 納米（RMS）
-XY 橫向分辨率：根據樣品和針尖直徑情況
熱學成像分辨率
-至少100納米
阻值成像分辨率
-至少25納米

++++++熱學&阻值成像

溫度參數
-300度或者更高，要考慮樣品情況
熱學參數
-獨特的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中
-熱敏感度0.01 oC
-測量阻值改變速率為0.38 Ω/oC
阻值特點
-獨特的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中并且可以做出不同的形狀結構和涂層
-超高電勢分辨率
-接觸電阻極微小
-電學穩定& 抗氧化 

++++++在線光學和電子/離子光學掃描同步完成

可以完成的表征類別
-遠場光學，共聚焦光學，近場，微區拉曼，掃描電子顯微鏡（SEM）或者聚焦離子束（FIB）
整合優勢 
-樣品掃描臺上下光路開闊，可以做光學或電子/離子光學特征同步掃描聯用

-將所有形式的光學顯微鏡整合在一起，包括上置光學顯微鏡和下置光學顯微鏡同時整合在探針掃描平臺上

-整合了所有標準微區拉曼180度背反射幾何形貌配置。下置光學顯微鏡和Nanonics獨特的上下置光學顯微鏡可以做不同的透明和非透明樣品

-具有所有常規的遠場光學操作模式包括相位成像和界面差別對比

-可以使用上置，下置和雙置光學顯微鏡做任何模式近場光學掃描，無需更換掃描頭保證了實驗結果穩定性和可重復性。
探測器類別
-PMT， APD 或者InGaAs 紅外探測器
激光光源
-可提供深紫外到近紅外激光
電視頻系統 
-在線CCD 視頻成像

主要特點：

 獨有的多探針系統
Nanonics原子力顯微鏡*多可以同時進行四探針測試，光纖探針各自獨立控制，可以同時分別、獨立進行如滴液、加壓，電學，熱學方面的測試等不同的工作。

**技術的獨特扁平3D 掃描臺
具有**技術的掃描臺上下光路開闊，可以將上，下置光學共聚焦顯微鏡**整合到AFM掃描平臺上，在無需更換任何探頭的情況下同步完成的一系列的探針掃描，光學測量，力學測量，熱學電學測量等測試手段，節約了用戶大量的時間和精力并保證了樣品測試的連貫性。通常很多廠家儀器做不同測試的時候探頭都需要更換，不能同步聯用并且費時費力。Nanonics這項**是目前市場上****的優勢技術，并且探針掃描臺和樣品掃描臺可以獨自運作，即可以探針不動，樣品移動；或者樣品不動，探針移動，其它廠家無法提供這種獨特的掃描方式。掃描的步進位移通過壓電陶瓷驅動精度極高，Nanonics原子力顯微鏡分別提供一個85um樣品掃描臺和30um探針掃描臺，XY方向的掃描范圍是110*110um。尤其是Z方向的大掃描范圍是所有AFM廠家無法提供的。另外一個3D掃描臺提供探針掃描和樣品掃描兩種模式，在所有AFM 電鏡中是****的設計。

獨特的音叉反饋機制
常規的AFM反饋通過激光反射反饋，具有噪音大，調試困難，受干涉情況；尤其在液體中或者做光學測試的時候，例如近場光學，AFM-Raman測試中，容易被干涉或者干涉有效信號。音叉反饋采用常規力學反饋避免了以上所有弊病，安裝簡單，結構穩定。
**技術的懸臂光纖彎針 。Nanonics 原子力顯微鏡的玻璃探針可提供暢通的光學通道，光線能以與傳統直線式近場光學元件相同的效率和偏振性傳輸到探針尖端。玻璃探針可以做成中空型，用于加載光纖或實現Nano-Pen功能。

多種探針通用平臺
Nanonics 原子力顯微鏡系統不僅可以使用玻璃光纖探針，也可以使用傳統的商業化AFM/NSOM硅探針，提供了一個通用多探針使用平臺。客戶也可以要求使用常規硅懸臂探針。另外Nanonics還可以根據客戶不同的需要定制探針。

****的Z 方向探測深度
MV4000在Z方向**可探測深度為140um，非常適合深溝狀樣品。獨特的懸臂設計不僅能探測深溝底部的形貌，而且可以對側面進行檢測。常規的硅懸臂探針無法做深溝探測。

獨特的光學友好性
Nanonics原子力顯微鏡的玻璃光纖探針可提供暢通的光學通道，可同時和正置與倒置顯微鏡配合使用，實現透射式、反射、照明模式、收集模式（Nanonics獨有的）等多個功能。光纖探針具有良好的光學性能和光導性能，這是硅懸臂探針無法做到的。

拉曼連用平臺
MV4000的玻璃光纖探針具有光學友好特性，可與任何拉曼光譜儀整合，例如常用的Reinshaw 和JY Raman系統。可實現在線AFM形貌掃描，拉曼Mapping，自動共聚焦，提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微區Raman，并且還可以做熒光和微區熒光掃描。由于獨特的掃描平臺，AFM-Raman 聯用不僅可以掃描透明樣品還可以掃描不透明的塊狀和薄膜樣品，這也是在AFM-Raman 聯用案例中獨特的設計。

獨有的TERS玻璃探針
Nanonics在玻璃光纖探針的尖端采用**的獨立金球技術，與其他涂層探針相比，不會因在長時間使用后，受到激光影響而脫落，更為穩定，效率更高。配合獨特的掃描臺設計，可以在光源位置找到**激光偏振位置獲得**的TERS信號源。這也是其它廠家不具備的特點。