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類別	型號	波長范圍	狹縫	波長分辨率	訊雜比	動態范圍	曝光時間	熱穩定性
橢偏儀	EE2091	180~1100 nm	50 um	2.2 nm	500	5000	1.5ms~65sec	<0.04 nm/℃

項目	規格
CPU	ARM9
A/D 轉換器	15MHZ， 16bit
傳輸介面	USB 2.0
電源	電源需求(USB): 330mA at +5 VDC 制冷插孔電源需求: 500mA at 5VDC
開機時間	<4 sec
尺寸	130 x 86 x 32 mm
重量	500 g

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項目	規格
光學設計	Unfolded Czerny-Turner
型號	EE2051	EE2061	EE2091
波長范圍	500~1100 nm	180~1100 nm
CCD Cooling	室溫 25℃ 可降至 0℃
CCD	近紅外增強背照式制冷型傳感器	紫外增強背照式制冷型傳感器	紫外增強背照式快速曝光 (1.5ms) 制冷型傳感器
光學分辨率 (nm)	0.4~10nm	0.2 ~10nm
入口狹縫寬度	10， 25， 50， 100， 200， 300 um
訊雜比	500
動態范圍	5000
曝光時間	5 ms ~ 65sec		1.5 ms ~ 65sec
光訊息參數即時計算	V
UART	V
連續高速曝光模式	V
應用	拉曼量測	橢偏儀、膜厚量測、高階LED量測

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