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      >InVue? GV148 液體濃度監測器

      InVue? GV148 液體濃度監測器

      InVue GV148

      直接聯系

      上海奧法美嘉生物科技有限公司

      美國

      產品規格型號
      參考報價:

      1-5萬元

      品牌:

      Entegris

      型號:

      InVue GV148

      關注度:

      6482

      產品介紹

      InVueGV148 液體濃度監測器

      集成一體的實時過程監控系統


      InVueGV148液體濃度監控器可以實時提供測量過程流體的濃度,用于化學混合、提升濃度和稀釋,無需中斷過程檢測。


      InVue&reg;GV148液體濃度監控器集成在一個小型密封外殼中,可提供性價比高的濃度監測,使前端(FEOL)、后端(BEOL)和工廠生產系統的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴格, 從而提高工藝效率,減少成本投入,也減少廢料的產生。


      用戶軟件強大


      采用基于Windows&reg;的HMI軟件應用程序來支持 GV148配置和實時監控。該軟件允許用戶:


      ·獲得實時折射率、流體溫度和濃度信息

      ·自定義折射率以及濃度切換

      ·獲取和分析化學品特定溫度補償的數據

      ·傳感器平衡操作

      ·查看當前警告信息、系統事件和警告歷史信息

      ·折射率歸零

      ·配置模擬輸出


      經過驗證的折射率檢測技術


      GV148監測儀采用經過驗證的折射率檢測技術,外觀小巧,可提供準確、安全和可重復的液體濃度測量方法。在線傳感器可精確測量過程流體的折射率(IoR)和溫度。然后,我們將利用這些信息 來計算工藝中液體的濃度。


      工作原理


      使用折射率技術,當光從平面玻璃或液體表面反 射到光電二極管檢測器(PDA)時,InVue&reg;GV148 濃度監測器開始工作。反射角是由液體與窗口之 間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測反射 光強度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能 力和小型化設計是InVue&reg;GV148的重大特點。


      image.png


      應用領域


      ·H2 O2 溶液混合

      ·研磨液稀釋

      ·專有添加劑混合

      ·全球和本地循環監控

      ·批量溶液混合監控

      ·容器壽命檢測

      ·CMP后清潔溶液混合


      功能與優勢


      基于折射率的測量

      為過程控制提供實時濃度和溫度驗證

      快速響應時間,用于即時偏差檢測

      測量各種介質中的濃度,包括非導電流體

      非直接接觸式,保持化學物質純度和潔凈度

      符合在線工藝效率要求

      含氟聚合物和藍寶石的超純潤濕表面保持化學物質的純度和潔凈
      小巧型電子產品

      *小化整體工具體積

      輕松集成到新的和現有的工具空間

      HMI軟件

      實時數據記錄和分析工具

      允許為定制專有化學品濃度監測

      用于密切監控系統事件,參數變化和警報歷史,包括詳細 的事件日志

      多種通信選項

      RS485、RS422、4-20mA

      靈活滿足各種控制系統

      全密封傳感器在惡劣的環境中依舊提供準確性、可重復性和可靠性
      背景光扣除算法在背景光存在的情況下依舊保持高準確性
      傳感器無耗材只需要*少的硬件和預防性維護
      鏡面清潔端口便于手動清潔藍寶石鏡面
      LED狀態燈提供監視器頻次、通信和錯誤的指示

      可選的N2/DI自動*

      原位鏡面清潔器

      **限度地減少維護停機時間,特別是在研磨液和親水性化學品中

























      *配備適當的閥門和控制器


      功能與優勢


      傳感器結構材料流動池主體聚四氟乙烯(PTFE)*
      光學鏡面單晶藍寶石*
      電纜護套聚氯乙烯(PVC)
      閥蓋、外殼聚偏氟乙烯(PVDF)
      安裝板聚丙烯(PP)
      電器設備電纜連接19 pin Turck&reg; male
      額定電流啟動時1.0A ; 操作期間0.5A
      主電壓輸入24 VDC
      IO電壓輸入12 ? 24 VDC
      短路保護
      外部LED4
      模擬輸出4 ? 20 mA 濃度、流體溫度、折射率(RI)
      離散數字輸入2
      離散數字輸出** 2.80 mAdc (各個部件)
      復位數字輸入、串行命令或HMI軟件
      串行通信**壓力80psi 40℃(104°F)
      工藝流體溫度范圍20°C to 40°C(68°to104°F)
      環境溫度范圍20°C to 35℃(68°to95°F)
      儲存溫度范圍-15°C to 40°C(5°to 104°F)
      折射率檢測折射率檢測范圍** 1.32-1.40 nD
      準確性&plusmn;2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
      重復性5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液體中)
      精度3×10-6nD(@20°C[68°F]純水中)
      響應時間<3sec 對63%穩態變化的非平均響應時間
      趨勢變化<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
      壓力敏感度(典型)8×103 nD/psig(@20°C[68°F]純水中)
      符合ROHS標準符合
      附件IP54
      培訓一次





































      *親水性的組件

      **對于折射率超出此范圍的流體,請聯系奧法美嘉


      配置


      image.png


      入口/出口連接端口尺寸

      ABC
      1/4"Flaretek管配件114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")111.0mm(4.37")
      3/8Flaretek管配件117.7mm(4.64")34.7mm(1,.37")113.5mm(4.47")
      1/2"Flaretek管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")119.6mm(4.71")
      3/4"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")132.6mm(5.22")
      1"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")154.9mm(6.10")
      1/2"Primelock管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")122.9mm(4.84")
      1"Primelock管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")149.6mm(5.891)
      1/4"支柱管接頭114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")100.5mm(3.96")
      3/8"支柱管接頭117.7mm(4.64")34.7mm(I.37")112.5mm(4.43")
      3/4"支柱管接頭126.6mm(4.99)38.9mm(1.53")134.5mm(5.29")


















      訂購須知

      InVue GV148液體濃度監測器:配件號


      image.png


      配件編號描述
      GV1CBLH0419針螺旋接頭,帶4.0米(13.12英寸)聚氯乙烯護套電纜
      GV1USBCVTUSB轉4線串行轉換器




      產品咨詢

      InVue? GV148 液體濃度監測器

      InVue GV148

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