主要特點(diǎn)：模塊設(shè)計(jì)，易于安裝體積小巧；自動(dòng)化高，一鍵啟動(dòng)運(yùn)行；功能性強(qiáng)，支持多種靶材鍍膜；穩(wěn)定性好，高效成膜質(zhì)量可靠。

真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；

濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；

樣品臺(tái)：帶1個(gè)Φ50mm樣品臺(tái)和7個(gè)Φ13mm  掃描電鏡樣品杯，電動(dòng)旋轉(zhuǎn)。