主要特點：模塊設計，易于安裝體積小巧；自動化高，一鍵啟動運行；功能性強，支持多種靶材鍍膜；穩定性好，高效成膜質量可靠。

真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；

濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；

樣品臺：帶1個Φ50mm樣品臺和7個Φ13mm  掃描電鏡樣品杯，電動旋轉。