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      產品>
      
				
      粉體助劑>
      
			
      分散劑
      
				
      >CMP高純度納米氧化鋁分散液
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      CMP高純度納米氧化鋁分散液
      
				
      高純度納米氧化鋁分散液
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      蘇州柔陶新材料有限公司
      
										
      江蘇
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      柔陶新材料
      	
      型號：
      高純度納米氧化鋁分散液
      	
      關注度：
      4370
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      高純度納米氧化鋁分散液
      該產品使用納米ɑ-Al2O3，制備高純度、高固含量，低粘度的納米分散液，其具備優異的分散性和 穩定性，顆粒尺寸分布狹窄，不易二次團聚，可以長期存儲穩定無沉淀。產品優勢：更高的拋光去除率、更少的劃傷、更低表面粗糙度、無需再分散、更易操作
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      產品參數                                                          拋光參數

      型 號
      JAN80
      JS200
      JB200
      JB500
      外觀
      白色液體
      晶型
      ɑ相
      二次粒徑D50(μm）
      0.1-0.15
      0.15-0.2
      0.15-0.2
      0.5-0.6
      pH
      -
      酸堿性可調
      固含量
      %
      20-30
      純度
      %
      >99.99
      99.9
      包裝
      25kg/桶（電子級PE塑料桶），避光、通風、密封保存
      型 號
      JS200
      JB200
      JB500
      拋光液參數
      氧化鋁含量5%，高錳酸鉀含量3%
      PH
      酸性 2-3，堿性8.5-9.5
      拋光工藝
      6寸碳化硅襯底片，8PSI，1.5L/h循環流量，60rrp轉速
      酸性
      Si面
      MRR(um/h)
      5-6
      5-6
      6-7
      Ra值(nm)
      <0.2
      <0.2
      <0.2
      堿性
      Si面
      MRR（um/h）
      3.5-4
      3.5-4
      4-5
      Ra值(nm)
      <0.2
      <0.2
      <0.2
       











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      應用領域

      image.pngimage.pngimage.png
                       芯片                            二三代晶圓                 液晶顯示屏圖層

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      CMP高純度納米氧化鋁分散液
      
						
      高純度納米氧化鋁分散液
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      CMP高純度納米氧化鋁分散液 - 4370
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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