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      >碳化硅陶瓷載盤

      碳化硅陶瓷載盤

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      直接聯(lián)系

      江陰晶沐光電新材料有限公司

      江蘇

      產(chǎn)品規(guī)格型號
      參考報(bào)價:

      面議

      品牌:

      晶沐光電

      型號:

      碳化硅陶瓷載盤

      關(guān)注度:

      883

      產(chǎn)品介紹

      碳化硅陶瓷載盤

      厚度

      0.75mm

      直徑

      156mm

      氣孔徑

      <5 μm

      雙面平面度

      ≤15 μm

      TTV

      ≤3 μm,5點(diǎn)量測

      平行度

      ≤15 μm

      翹曲度要求

      90℃- 250℃ 宏觀目視不翹曲變形

      密度

      1.8~2.4 g/cm3

      氣孔率

      30%-50%

      抗折強(qiáng)度

      ≤65 Mpa

      熱膨脹系數(shù)

      7.5 (10-6/℃)

      透氣性要求

      空吸:真空度≥ -30 Kpa
      放置Wafer 在 SIC載盤上:真空度 ≤-60 Kpa

      外觀

      1.全周去毛邊,銳角倒鈍
      2.無缺角
      3.刮傷:W≤0.03mm&L≤3mm,N≤2


      產(chǎn)品咨詢

      碳化硅陶瓷載盤

      碳化硅陶瓷載盤

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      請?zhí)顚懩碾娫挘?

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      碳化硅陶瓷載盤 - 883
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