Material Propeties 材料特性

1

Growth Method
  生長方式

Czochralski (CZ)
  直拉法

-

2

Dopant
  摻雜劑

Boron doped
  硼摻雜

-

3

Type
  型號

P-Type
  P型

Napson EC-80TPN
  P/N型測試儀

4

Oxygen content
  間隙氧含量

≤8.0×1017 atoms/cm3

FTIR(ASTM F121-83)
  傅里葉變換紅外光譜儀

5

Carbon content
  替位碳含量

≤5.0×1016 atoms/cm3

FTIR(ASTM F123-91)
  傅里葉變換紅外光譜儀

6

Surface orientation
  表面晶向

﹤100﹥±3o

X-ray Diffraction Method
  X射線衍射儀

8

Dislocation Density
  位錯密度

≤500 pcs/cm2

Preferential Etch Techniques(ASTM F47-88)
  擇優化學腐蝕法

Electrical Propeties 電學特性

1

Resistivity
  電阻率

■ 0.5-1.5 Ω·cm

□ 1.0-3.0 Ω·cm
  □ 其它：  Ω·cm

4-probe resistivity measurement
  四探針電阻率測試儀

2

Silicon rod minority lifetime
  硅棒少子壽命

≥50us

Sinton BCT-400（SEMI PV13）