產(chǎn)品詳細(xì)介紹

氦氣壓縮機(jī)概述

氦氣壓縮機(jī)是低溫真空泵、低溫制冷機(jī)或其他制冷單元的驅(qū)動(dòng)單元,用于向低溫真空泵、低溫制冷機(jī)或其他制冷單元提供高純度氦氣。

應(yīng)用領(lǐng)域 :

氦氣壓縮機(jī)可以驅(qū)動(dòng)不同尺寸的低溫真空泵。

"主要應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程設(shè)備的蒸發(fā)、濺射和離子注入的真空系統(tǒng),同時(shí)在天文、航天、醫(yī)療等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。