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      真空鍍膜設備(CVD/PVD)

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      真空鍍膜設備(CVD/PVD)

      真空鍍膜設備(CVD/PVD)主要用于薄膜沉積工藝,是一連串涉及原子的吸附,吸附原子在表面的擴散及在適當?shù)奈恢孟戮劢Y,在晶圓上沉積一層待處理的薄膜的過程。







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