石墨托盤

技術

1)用于LED外延片加工石墨頂板;

2)擋板結構內部晶片邊緣休息;

3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補關系;

4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構成充分循環。

功能

1)較低的熱膨脹系數

2)thermak導電性更好

3)穩定的化學perfermance

4)更好的耐蝕性

5)較強的導電性

規范

數量單位

體積密度1.85克/立方厘米

比電阻11 - 14 uΩm

抗壓強度90 mpa

撓曲強度40 mpa

肖氏硬度60

灰分500 ppm

平均粒度20 um

膨脹系數4.5 gte

彈性模量11平均績點