石墨盤在外延設(shè)備中起著至關(guān)重要的作用。n硅晶片在成為半導(dǎo)體成品前，需要經(jīng)過許多步驟，其中一個(gè)關(guān)鍵的工藝流程即是硅外延。n潤石新材料生產(chǎn)的半導(dǎo)體外延片生長的CVD石墨盤采用日本TOYO,TOKAI,以及德國SGL進(jìn)口石墨，可以達(dá)到≤5PPM的純度，具有更好的穩(wěn)定性、更長的使用壽命。建議使用材料：SGL6510、SGL6650、HK-2、HK-5