硅基負極材料CVD包覆設備

    作為下一代負極材料的主流趨勢，硅基負極材料（包括SiOx、nano-Si、SA）通常需要進行一些表面改性包覆來提升材料性能，通過化學氣相沉積CVD包碳是包覆的主流手段。

    公司通過技術嫁接，針對硅基負極材料市場開發出新型的流化床氣相沉積包覆裝置，主要用于硅基負極材料的碳包覆。與現有的其他包覆設備相比，流化床CVD包覆設備可以帶來更好的包覆均勻性、品質穩定性等。

    該設備不僅可用于硅基負極材料的碳包覆，也可用于石墨等碳基負極材料的包覆、燒蝕等材料改性，也可針對客戶需求匹配不同類型的沉積工藝。