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QBT-J 技術參數 Technical Specifications (雙傾角約瑟夫森結制備）
超高真空腔體 UHV Chamber	4個UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 極限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加熱 Wafer Heating	RT-900℃
離子束清洗 Ion Milling	考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3%
電子束蒸發 Ebeam Evaporation	UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 Oxidation	Flow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation	可實現180度傾斜及360度旋轉，0.1度的精準控制
基板傳輸 Wafer Transfer	高度可靠和可重復的基板傳輸能力
人機界面 HMI	全自動化人機操作界面
安全Safety	工業標準安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO